高周波機的故障約有80%是由高頻引起的，因此高頻部分的的日常保養顯得及為重要。
l       由于高周波機內有高壓電源及高壓電容器，在給機器做保養（或維修）時務必關閉電源開關并按規定給電容器放電；
2      應保持諧振腔（振蕩桶）內清潔無雜物；并定期用干燥的壓縮空氣吹諧振腔（振蕩桶）以清除諧振腔（振蕩桶）內積塵和朵物；定期清除電柜內的積塵。
3      及時清除電子管散熱器內的積塵，當散熱器內積塵太多時會影響電子管的散熱效果，使電子管溫度升高，縮短電子管的使用壽命；
4       請注意風機的進風口（或排風口）是否有物品遮擋，當進風量（或排風量）減小時，電子管溫升增高，會影響電子管輸出性能及使用壽命；
5      及時清除吸附在冷卻風鼓（或風扇）葉輪（或葉片）上的積塵，以保證電子管的冷卻風量不被減少；當電子管的冷卻風量減小時會影響電子管的使用壽命或損壞。
6     在高頻全功率、長時間輸出時應特別注意電子管的冷卻系統是否正常，因為在全功率（額定功率）輸出時的電子管發熱量比半功率（額定功率的一半）時的發熱量高四倍，當冷卻系統異常時及易損壞電子管；
7       由于電子管的燈絲工作電流較大，應經常檢查燈絲供電回路的接線子、緊固螺絲是否因大電流工作發熱引起的氧化、松動而出現的接觸不良現象，它不僅影響電子管的輸出功率，還會導致電子管損壞；
8      嚴格執行操作規程，每次使用后都應將同調器調到最小位置；避免在下次使用時出現打火現象；
9       應保持各高頻接點光潔；無毛刺，并及時清理高頻接點表面在打火后留下的雜物；
l 0      及時清除吸附在高壓供電部分元器件上的表面積塵，避免在空氣潮濕的情況下出現的高壓放電現象損壞元器件。
l 1     留意由于長期的機械振動引起的螺絲松動導致行程開關（檢測開關）移位而出現的誤動作（或機器不工作）；
12     保證高頻回路的接地點能正確接觸，避免高頻接地不良引起熔接不良、打火損壞模具或干擾其他設備；
13       注意機械傳動部位的潤滑硅脂（油）是否干固，應保持傳動（轉動或滑動）部位的潤滑，定期加油（潤滑硅脂）；
14      注意氣動三聯體油杯內的潤滑油是否用干，應定期加油；